1. Identificação | |
Tipo de Referência | Artigo em Evento (Conference Proceedings) |
Site | mtc-m21b.sid.inpe.br |
Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
Identificador | 8JMKD3MGP3W34P/3J8H2H5 |
Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21b/2015/03.30.13.35 |
Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21b/2015/03.30.13.35.03 |
Última Atualização dos Metadados | 2021:03.04.02.29.59 (UTC) administrator |
Chave Secundária | INPE--PRE/ |
Chave de Citação | VahediVerbAlveBird:1990:PlPrVi |
Título | Plasma processing via computer simulation |
Ano | 1990 |
Data de Acesso | 21 maio 2024 |
Tipo Secundário | PRE CI |
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2. Contextualização | |
Autor | 1 Vahedi, V. 2 Verboncoeur, J. P. 3 Alves, Maria Virgínia 4 Birdsall, C. K. |
Grupo | 1 2 3 LAP-INPE-BR |
Afiliação | 1 2 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
Endereço de e-Mail do Autor | 1 2 3 mvirginia.alves@inpe.br |
Nome do Evento | Workshop on High-Density Plasma Techniques and Processes for Integrated Circuit Fabrication. |
Localização do Evento | Burlingame, CA |
Data | 11-12 Sept. |
Histórico (UTC) | 2015-03-30 13:35:26 :: simone -> administrator :: 1990 2021-03-04 02:29:59 :: administrator -> simone :: 1990 |
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3. Conteúdo e estrutura | |
É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
Estágio do Conteúdo | concluido |
Transferível | 1 |
Tipo do Conteúdo | External Contribution |
Área | FISPLASMA |
Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Plasma processing via... |
Conteúdo da Pasta doc | não têm arquivos |
Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
Conteúdo da Pasta agreement | |
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4. Condições de acesso e uso | |
Idioma | en |
Grupo de Usuários | simone |
Grupo de Leitores | administrator simone |
Visibilidade | shown |
Permissão de Leitura | allow from all |
Permissão de Atualização | não transferida |
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5. Fontes relacionadas | |
Repositório Espelho | sid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.22 |
Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS |
Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.20 |
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6. Notas | |
Campos Vazios | abstract archivingpolicy archivist booktitle callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel dissemination doi e-mailaddress edition editor format isbn issn keywords label lineage mark nextedition notes numberoffiles numberofvolumes orcid organization pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project publisher publisheraddress resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark serieseditor session shorttitle size sponsor subject targetfile tertiarymark tertiarytype type url versiontype volume |
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7. Controle da descrição | |
e-Mail (login) | simone |
atualizar | |
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